半導体微細加工を利用してミクロンオーダーの三次元構造をつくり、それをナノメートルの精度で駆動制御するMEMS技術は21世紀を支える基盤技術と考えられています。この技術は80年代後半に飛躍的な発展をとげ、現在に至るまで急速な成長を続けていいます。

近年実用化の動きが活発になり、多くのセンサー、アクチュエーターを初め光通信用コンポーネント(MOEMS)、無線通信用デバイス(RF-MEMS)、バイオチップ(Bio-MEMS)、マイクロ化学システム(μ-TAS)等の商品化が進んでいます。

MEMS産業は、高付加価値で高機能の製品を実現する知識集約的な産業であり、日本の製造業のサポーティングインダストリーとして位置づけられています。
MEMSファンドリーサービス産業委員会(FSIC : Foundry Service Industry Committee;平成14年7月発足)は、わが国のMEMSファンドリーサービス産業発展のため、メンバー各社が手を携えマイクロマシンセンターのMEMS協議会の下、以下のような諸々の活動を行っています。

MEMSファンドリーサービス産業委員会 (FSIC) の活動
   MEMSファンドリーサービスネットワークの運営
   MEMS講習会の開催 他

  
委員会メンバー 参加案内  委員会事務局


      
現在、以下の各社、研究所がFSICメンバーとなっています。各社が力を合わせ、わが国の
MEMS産業のすそ野を広げ、その発展を促進する先導的な諸活動を行っています。

  
MEMSファンドリーサービス産業委員会(FSIC)メンバー 
(株)アルバック
オムロン(株)
オリンパス(株)
大日本印刷(株)
(株)日立製作所
 富士電機システムズ(株)
(株)NTT数理システム
みずほ情報総研(株)
MNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)
マイクロマシンセンター(事務局)
    
 MEMSデバイスの一層の利用促進を図るため、製造設備を有しない企業でも容易にMEMSビジネスに参入できるようにMEMSファンドリーサービス事業の確立が必須と考え、平成14年7月に委員会を発足し、わが国のMEMSファンドリーサービスに関するいろいろな活動を推進しております。

 今やセンサー類、光デバイス、RF-MEMS、μ-TASなどMEMSデバイスの実用化が着実に進展しており、多くの分野の製品の中へのMEMS導入・組込のニーズが高まっています。MEMS産業は、まさに製造業のキーデバイスを供給する戦略産業の地位を確立しつつあり、第二の半導体産業としての発展が期待されています。

 現在ファンドリーサービス産業委員会に参加している各社は、先導的にわが国のMEMS産業のすそ野を広げ、その発展を促進する役割を担っています。また、自社のファンドリービジネスも順調に推移しています。

 すでにファンドリービジネスをスタートしている企業の方や今後ファンドリービジネスに参入する予定の企業の方は、当委員会の趣旨に賛同され、MEMSファンドリーサービスネットワークなどの委員会活動への参加をご検討下さい。当委員会への参加を歓迎します。

 当委員会への参加していただくためには、MEMS協議会への入会が必要です。詳細は 委員会事務局 まで連絡下さい。   

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