センサ・通信用デバイスからバイオチップまで、幅広い開発経験で培った日立グループの総合力で応えるMEMSワンストップサービスです。お客様のご要望に応じて、成膜やエッチングなどの単工程加工からデバイス量産、システム開発まで、日立グループの連携により、あらゆる段階でサポートいたします。また、金属、ガラスなど多様な材料に対応しております。
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