MMCMEMS講習会 > 第12回MEMS講習会(2009.2)

第12回MEMS講習会@浜松(2009.2.6)は、
多数の方にご参加いただき、盛況裡に終了いたしました。

開催報告


   ◇日 時: 2009年2月6日(金) 13:00~18:00 (~19:00懇談会)
   ◇場 所: グランドホテル浜松 2F 桃山の間
            〒432-8507 静岡県浜松市中区東伊場1-3-1 
            地図URL http://www.grandhotel.co.jp/etc_map.html
   ◇参加費: 一般 5,000円 /MEMS協議会メンバー 4,000円

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第12回MEMS講習会 「MEMSの設計・加工技術と応用例」
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                   主催: 財団法人マイクロマシンセンター     
                        ファンドリーサービス産業委員会     
                   共催: 財団法人浜松地域テクノポリス推進機構
                        静岡大学イノベーション共同研究センター

 半導体微細加工技術を応用して、微小な電気要素と機械要素を1つのデバイスに組み込んだMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、情報通信、自動車、ロボット、医療・バイオなど多様な分野におけるキーデバイスとして市場拡大が期待されていますが、製品開発には設計から応用まで幅広い知識が必要とされています。

 (財)マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために現在まで11回のMEMS講習会を開催してきましたが、今回第12回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を初めて東海地方で開催いたします。

 今回は、初心者・中級者向けとして、MEMS技術・動向、MEMSファンドリー及びMEMS設計解析支援システムにわたり、幅広くご紹介いたします。
 また、休憩時間には、委員会メンバー各社による技術相談会で、MEMS製作に関する御質問にお答えいたします。

 特に今回は、同日開催される(財)浜松地域テクノポリス推進機構主催の「はままつメッセ2009」と同時開催という形で開催いたしますので、多数のお申込みをお待ち申し上げます。

   ◇日 時:2009年2月6日(金)13:00~18:00 (~19:00懇談会)
   ◇場 所:グランドホテル浜松 2F 桃山の間
          〒432-8507  静岡県浜松市中区東伊場1-3-1
                  TEL:053-452-2111(代表)
        地図URL http://www.grandhotel.co.jp/etc_map.html
   ◇参加費: 一般  5,000円 / MEMS協議会メンバー 4,000円
   ◇定  員: 60名 (定員になり次第、締切らせていただきます。) 
   ◇問合せ先:〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
            財団法人マイクロマシンセンター
              ファンドリーサービス産業委員会講習会担当(山岡、酒向)
               TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873

◆ 会場案内

     
 「はままつメッセ2009」ホームページ:http://www.hamatech.or.jp/messe2009/


★ 参 加 申 込 ★

下記申込欄をコピーして頂き、メール本文中に貼り付け、必要事項をご入力の上、ご送信下さい。
又は下記申込欄を印刷して頂き、必要事項をご記入の上、FAXして頂いても結構です。
 (受付後、登録通知メールを送付致します。)

E-mail: mems-ws@mmc.or.jp
FAX : 03-5835-1873
         (財)マイクロマシンセンター  
               ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当 (山岡、酒向)

=========  お申込は下記の申込欄のみをご送信下さい。===========

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                  参加申込欄 

第12回MEMS講習会 「MEMSの設計・加工技術と応用例」
                  <2009年2月6日(金)>
                   
申込者氏名:
氏名フリガナ:
会社・団体名:
所属部署:
役職:
勤務先〒番号:
勤務先住所:
TEL:
E-mail:
参加費: どちらか一方を残してください
       ①一般 (5,000円)   ②MEMS協議会メンバー (4,000円)

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◇◇◇◇◇◇   プ ロ グ ラ ム  ◇◇◇◇◇◇

13:00 主催者挨拶
        青柳 桂一 (財団法人マイクロマシンセンター 専務理事)
     共催者挨拶
        木村 雅和 (静岡大学イノベーション共同研究センター センター長)

13:10 MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待
     
  杉山 進  (立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長 教授 )
13:50 電気等価回路によるMEMS設計法
       橋口 原   (静岡大学 電子工学研究所 教授)

14:30  -- 休憩 -- 

14:40 MEMSプロセスについて
 ①14:40 エッチングプロセス
       林 俊雄(名古屋大学理学部教授、㈱アルバック半導体技術研究所担当部長)
 ②14:55 8インチMEMSプロセス
       西尾 英俊 (オムロン株式会社 マイクロデバイス事業部開発部 技術専門職)
 ③15:10 ナノインプリント(低コスト微細成形技術)
       高橋 正春 (産業総合研究所 先進製造プロセス研究部門 グループ長)
 ④15:25 ウエハレベルパッケージ技術
       末益 龍夫 (株式会社フジクラ シリコン技術開発部 部長)
 ⑤15:40 表面活性化法を用いたMEMSウエハ常温接合
       奥戸 崇史 (パナソニック電工株式会社 微細プロセス開発センター 技師)

15:55 東海地区のMEMS企業の技術紹介
      MEMS量産工場での普及の進む完全ドライ・レーザダイシング
       “ステルスダイシング技術の原理と進化”
       内山 直己 (浜松ホトニクス株式会社 電子管事業部 主任部員)

16:35 MEMSデバイスおよびシミュレーションについて
 ①16:35 光MEMSの標準プロセス
       網倉 正明 (オリンパス株式会社 MEMS開発本部 グループリーダー)
 ②16:50 マイクロ流体デバイスの加工技術
       小出 晃 ((株)日立製作所 マイクロ機構デバイスユニット ユニットリーダー)
 ③17:05 MEMS用設計・解析支援システム(MemsONE)の現状とその応用
       岩崎 拓也 (みずほ情報総研 サイエンスソリューション部 シニアコンサルタント)

17:20 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
       佐藤 文彦  (ファンドリーサービス産業委員会 委員長/
                オムロン株式会社 マイクロデバイス事業部 開発部 部長)

17:30   -- 技術相談会(各社パネル展示説明)及び休憩 -- 

18:00  懇談会



財団法人マイクロマシンセンター
     ファンドリーサービス産業委員会 MEMS講習会担当(山岡、酒向)
        E-mail: mems-ws@mmc.or.jp (参加申込・お問合せ)
          〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
          TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873

            ファンドリーサービス産業委員会 HP: http://www.mmc.or.jp/fsic/            
 

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