MEMS等価回路ジェネレータ
　橋口　原　静岡大学 電子工学研究所 教授

　NEDOファインMEMSプロジェクトで作成したMEMS等価回路ジェネレータについて、
その機能の概要と等価回路生成のモデリング手法についてご説明します。
　本設計プラットフォームはWEBベースのソフトウェアであり、MEMS-ONEの
CADで作成したMEMSのソリッドモデルから直接電気等価回路に変換し、汎用
回路シュミレーターであるSPICEで解析可能なネットリストを出力します。
また等価回路ジェネレータにはSPICE３も実装されており、簡単な回路解析を
することも可能です。MEMSの固有振動解析や外力応答など、センサーやアク
チュエータの設計に有用なツールです。

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