MMCMEMS講習会 > 第6回MEMS講習会(2006.1)

第6回MEMS講習会@京都(2006.1.19)は、
多数の方にご参加いただき、盛況裡に終了いたしました。

開催報告


◇ 日時: 2006年1月19日(木)13:00~17:50~19:00
◇ 場所: ぱ・る・るプラザ京都(JR京都駅前)6階会議室D及び会議室5
              〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13   
TEL:075-352-7444

◇ 参加費: 8,000円
◇ 定員: 100名 (定員になり次第、締切らせていただきます。)

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第6回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
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                主催: 財団法人マイクロマシンセンター
                     ファンドリーサービス産業委員会

 半導体微細加工を利用してミクロンオーダーの三次元構造をつくり、それをナノメートルの精度で駆動制御するMEMS技術は21世紀を支える基盤技術と考えられております。

 この技術は80年代後半に飛躍的な発展をとげ、現在に至るまで急速な成長を続けておりますが、実用化も次第に活発になり、多くのセンサー・アクチュエーターシステム(MEMS)を始め、光通信用コンポーネント(MOEMS)、無線通信用デバイス(RF-MEMS)、バイオチップ(Bio-MEMS)、マイクロ化学システム(μ-TAS)等の商品化が進んでおります。

 また、MEMS産業は、高付加価値で高機能の製品を実現する知識集約的な産業であり、日本の製造業の救世主となる可能性を持っております。

 このような背景のもと、我々ファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に第6回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を開催することと致しましたのでご案内いたします。

◇ 日時:    2006年1月19日(木)13:00~17:50~19:00

◇ 場所:    ぱ・る・るプラザ京都(JR京都駅前)6階会議室D及び会議室5
              〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13

◇ 参加費:   8,000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
           参加費は当日、受付でお支払い下さい。(領収書をご用意します。)

◇ 定員:    100名 (定員になり次第、締切らせていただきます。)

◇ 参加申込:  E-mail: mems-ws@mmc.or.jp 又は FAX (03-5835-1873)宛
           に下記申込書を送付下さい。 

◇ 問合先:  財団法人マイクロマシンセンター  
           ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当(織田、酒向)
           〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
           TEL 03-5835-1870,  FAX 03-5835-1873

◆ 会場案内

   


★ 参 加 申 込 ★

下記申込欄に必要事項をご記入の上、メール又はFAXにてご送付下さい。
 (受付後、登録通知メールを送付致します。)

E-mail: mems-ws@mmc.or.jp
FAX : 03-5835-1873
         (財)マイクロマシンセンター  
               ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当 (織田、酒向)

=========  お申込は下記の申込欄のみをご送信下さい。===========

◆◆◆ 第6回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」参加申込欄 ◆◆◆
                  (2006年1月19日(木))
申込者氏名:
氏名フリガナ:
会社・団体名:
所属部署:
役職:
勤務先〒番号:
勤務先住所:
TEL:
FAX:
E-mail:

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◇◇◇◇◇◇  プ ロ グ ラ ム  ◇◇◇◇◇◇

13:00  主催者挨拶
       青柳 桂一 (財団法人マイクロマシンセンター 専務理事)

13:10  新産業創出のキーとなるMEMSテクノロジー
       杉山 進  (立命館大学理工学部 教授)

14:00  光MEMS(マイクロミラーデバイス)の設計技術
       宮島 博志 (オリンパス(株) 研究開発センター MEMS事業推進部 グループリーダー)

14:35  MEMS加工技術(半導体プロセス~機械加工)
       高橋 敏幸 (オムロン(株) セミコンダクタ統括事業部 MEMS事業部 グループリーダー)
       荒井 剛   (オムロン(株) エンジニアリングセンター グループリーダー)

15:10  ドライエッチングの基礎
       林 俊雄 ((株)アルバック 半導体技術研究所 第1研究部 部長)

15:45~16:15    技術相談会(各社パネル展示説明)及び休憩

16:15  MEMS応用例(1)  非シリコンMEMSとその用途
       飛永 芳一 ((株)ナノデバイス・システム研究所 取締役CTO)

16:50  MEMS応用例(2)  バイオMEMS・ナノテクノロジーの医療応用
       馬場 嘉信 (名古屋大学大学院 工学研究科 化学・生物工学専攻 教授)

17:30  ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
       毛野 拓治 (松下電工(株) 生産技術研究所 高度MEMS開発センター グループ長)

                ---- 休憩 17:50~18:00 ----

18:00~19:00   懇談会 (6階会議室5)

財団法人マイクロマシンセンター
     ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当(織田、酒向)
        E-mail: mems-ws@mmc.or.jp (参加申込・お問合せ)
          〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
          TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873
 

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